微谐振器相关论文
随着物联网在半导体中的日益普及,MEMS器件的市场份额与日俱增。但是,其同时存在诸多问题需要解决。在加工过程中,由于尺寸微小和......
微谐振器在微机电机械系统（Micro-Electro-Mechanical System,MEMS）中是相当重要的组成部分,担任着传感器的角色,主要功能就是进行机......
以一类静电双边电容型微谐振器为研究对象,在直流电压上施加时滞位移反馈以控制微结构的复杂动力学行为,如混沌和吸合不稳定.首先,......
本文考虑一类双边电容型微谐振器,提出在系统直流偏置电压上施加时滞速度反馈实施控制其复杂动力学行为.通过引入新变量解析表达同......
一体化结构的全光型硅微谐振器引入了集成光学技术，具有独立的拾振光路和简单易行的拾振方式。可以完全脱离光学平台运作。实验测量......
微型机械由于几何尺寸的微小化,使得与尺度低次方有关的粘性力、表面张力、静电力、摩擦力等表面力的作用显著增强,静电力是其中比......
当静电驱动的微机械谐振器在液体环境中工作时，由于液体附加质量和粘性阻力的作用，谐振器的谐振频率和品质因子都显著下降，因此在实际......
在利用耦合模理论(CMT)研究了谐振器与波导之间耦合工作特性的基础上,在二维正方格子光子晶体中设计了两种对称的带有5×5微谐振器......
微型机电系统(MEMS)是集微型机构、结构、执行器、传感器与信号处理、电路、通信、电源、接口等于一体的微米级器件系统。MEMS在航......
微谐振器是微机电系统(MEMS)中一种典型的非线性动力学器件,它具有功耗小、灵敏度高、动态响应快、驱动效率高等优点,受到国内外学......
微谐振器是微机电系统(MEMS)和微纳米机电系统(NEMS)的重要组成部分，设计并制造一种高品质因子的微谐振器是有必要的。众多研究表明......
横向振动微谐振器被广泛应用在MEMS器件中。由于在微结构中表面积与体积比值急剧增大，微动构件作谐振运动时引起的空气阻尼也大大增......
随着MEMS谐振器应用的日益广泛，业界对于该器件的设计制造也提出了更高的要求。由于谐振器的尺寸较小，在工作时会受到比较大的气体阻......
横向振动硅微谐振器被广泛应用在MEMS器件中，例如微传感器、微陀螺仪、微滤波器等。微谐振器的动力学特性与其性能的提高密切相关。......
微谐振器件是微机电（MEMS）领域应用最广泛的器件之一，也是研究最多的器件。结构从最初的微梁发展到最近的微盘和微体，谐振频率不断被提......
近年来，集成慢光器件的研究在国内外引起广泛兴趣。表面等离子体器件能实现亚波长局域化，可极大地提高光子系统的集成度，成为了慢光技......
自2004年诞生以来,石墨烯以其优异的性质激发了人们的强烈的兴趣。石墨烯是用来制作纳米器件的理想材料,近些年关于石墨烯在纳米器......
细长结构广泛存在于航天航空、机械工程等领域。随着科技的发展,细长结构朝着大型和微型两个方向发展,其工作环境也越来越多样化和......
该论文的主要工作是针对目前微机械谐振器所涉及的三个问题进行了一定的研究,并对梳状谐振器能量转移的线性问题进行了讨论.第一个......
为了高精度、高速测量微谐振器谐振频率的变化,利用锁相环精确选频跟踪的特性,研制了以MAX038集成芯片为核心的闭环自激与检测电路......
以一类典型的静电驱动双边电容型微谐振器为研究对象,基于全局分岔理论,研究微结构吸合不稳定的机理;在此基础上,在系统直流偏置电......
针对横向振动MEMS微谐振器，计入非线性空气阻尼力，对微谐振器非线性动力学特性进行研究。建立微谐振器非线性动力学模型，计入滑移边界......
据美国物理学家组织网12月14日报道,英国光纤实验室的研究人员通过对普通光纤的直径在纳米尺度上进行微调,让光纤成为了制造光子计......
微谐振器是试飞测试系统的重要组成部件,微谐振器的性能影响到试飞测试系统的精确度。为了提高微谐振器的性能,在传统结构的基础上......
振动方向平行于衬底的梳状微谐振器的品质因子在高真空下可以高达1065以上，常压下，受空气阻尼影响，品质因子跌落到10^2左右甚至更小，为......
介绍了MEMS器件中微谐振器的简单综合方法：在给出一要求的频率值和明确设计变量与设计约束的条件下，提出一组规范尺寸，并用一种有效面......
微谐振器在MEMS器件中广泛作为感知或致动单元，但其工作在静电场中的部分构件，因微小间隙常会产生静电切向阻力。通过简化硅微谐振器......
谐振频率的大小是设计微谐振器时必须考虑的重要参变量,采用ANSYS有限元仿真软件分析不同结构尺寸下的微谐振器的谐振频率和模态,......
应用光波储能元件的光电振荡器(0EO)代表了产生高质量微波信号的典型发展方向，这种振荡器具有低的相位噪声。自10年前演示了其低相......
根据梁的小变形理论和位移叠加原理,建立了弓型梁微谐振器的横向振动模型,得到了弓型复杂梁的变形方程和该类谐振器谐振频率的解析......
电子科技大学光纤传感与通信教育部实验室饶云江教授与国内外科学家合作开展基于石墨烯增强布里渊光机微谐振器的超敏气体探测的研......
针对微梳齿谐振器频率偏移的问题,提出了一种用于微谐振器频率调节的曲线形状静电梳齿结构。通过对梳齿简单模型的静电力分析,得出......
硅微谐振式传感器具有灵敏度和分辨率高、准数字信号输出、抗干扰能力强的优点,在精确测量领域具有独特的优势。其中,电热激励/压......
对微结构而言，空气表面层阻尼计算模型一般用率特模式（Couette-type)和斯托克斯模式（Stocks-type)但是已报道的模型计算所得到Q值最小......
微机电系统（MEMS）测试的主要目的是为工程开发中的设计和模拟过程提供数据反馈，其中一个重要方面就是MEMS器件运动特性的高速可视化。......
英国光纤实验室的研究人员通过对普通光纤的直径在纳米尺度上进行微调，让光纤成为了制造光子计算机必需的微谐振器，为研制出光子计算......
在MEMS谐振器的设计过程中,质量、刚度等集总参数在描述器件动态性能方面起着决定性的作用。因此,集总参数的获取至关重要。传统的......
相比于整数阶微谐振器,分数阶微谐振器能更准确模拟微谐振器系统。利用分数阶微分及其理论,提出分数阶微谐振器系统模型,并通过预......
Viscous fluid damping in a laterally oscillating finger of a comb-drive micro-resonator based on mic
Viscous damping is a dominant source of energy dissipation in laterally oscillating micro-structures. In microresonators......
针对求解MEMS挤压膜阻尼过程中存在的问题,采用了多重网格方法进行求解,与传统方法相比,应用于挤压膜中流体问题的求解具有收敛速......
微机电系统(MEMS)测试的主要目的是为工程开发中的设计和模拟过程提供数据反馈,其中一个重要方面就是MEMS器件动态特性的高速可视......
通过ANSYS有限元仿真软件对横向振动微谐振器进行静态、模态和谐响应仿真分析。在静态和模态分析中，得到水平方向最大静位移和谐振......
